氦質(zhì)譜檢漏儀定義是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。 氦氣作為惰性氣體，不會(huì)腐蝕設(shè)備，且在容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境中干擾較少，信號(hào)較純，因而 常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體 分析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量 大小。 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀 器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。 以西格瑪旗下的 SAFC Hitech 子公司為例 Epichem (Epichem Limited,特殊氣體分部) 要求 ESS 設(shè)計(jì)并建造了一套檢測系統(tǒng), 用于泵壓、 烘烤、真空檢漏、正壓泄漏檢測以及有機(jī)金屬起泡劑的制備氣認(rèn)證。 起泡器 (過去常用于向半導(dǎo)體工業(yè)提供有機(jī)金屬) 是一些體積較小的金屬罐，配置有進(jìn)出閥。 由于具有高真空超潔凈的特點(diǎn)，因此起泡器在填充前要求相當(dāng)?shù)臐崈?。同時(shí)，由于起泡器內(nèi) 填充的是氧氣，避免泄漏發(fā)生爆炸也至關(guān)重要。 針對此應(yīng)用，ESS 開發(fā)出了一種特殊的雙進(jìn)樣端口的質(zhì)譜系統(tǒng)，它具有一個(gè)經(jīng)校準(zhǔn)的正壓泄 漏測試模塊，還具有一個(gè)自動(dòng)化的高真空測試模塊。 首先，將起泡器放置于平臺(tái)上。使用氦氣填充至一定壓力，所有的接頭都使用正壓泄漏檢測 裝置“嗅辨”一下。任何檢測到的泄漏記錄與起泡器序列號(hào)一一對應(yīng)，發(fā)生任何超過用戶設(shè) 置的zui大允許結(jié)果泄漏的起泡器都會(huì)被拒絕放行。 然后將起泡器安裝 10 個(gè)一排的裝置上，該裝置配有無油前級泵和渦輪分子泵。在軟件* 控制下，外部管線抽真空并保持狀態(tài)，然后操作者使用外噴霧檢查所有接頭時(shí)， 質(zhì)譜系統(tǒng) 可以監(jiān)測任何氦泄漏。 若通過泄漏測試，將起泡器抽真空、烘烤。測試結(jié)束時(shí)，質(zhì)譜系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)分析起泡器和接頭 管線中的氣體。為保證測試結(jié)果，所有起泡器中的水，氧和溶劑的濃度必須低于 1 ppm。 測試結(jié)束時(shí)，會(huì)提醒操作人員，并顯示測試結(jié)果是通過還是拒絕，所有測試數(shù)據(jù)將會(huì)被記錄， 便于溯源。 監(jiān)測組分 | 檢測限 | 丙酮(Acetone) | 0.5ppm | 乙醇(Ethanol) | 0.5ppm | 氦氣(Helium) | 0.5ppm | 氮?dú)?/span>(Nitrogen) | 0.5ppm | 氧氣(Oxygen) | 0.5ppm | 三氯乙烯(Trichloroethylene) | 0.5ppm | 水(Water) | 0.5ppm |
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占地空間小，節(jié)省潔凈室操作空間 配備軟件，用于半導(dǎo)體檢測 可用于解決客戶故障，優(yōu)化半導(dǎo)體應(yīng)用，節(jié)省時(shí)間和金錢。 Reactorr-v 真空過程監(jiān)控的質(zhì)譜系統(tǒng) ? 于監(jiān)測真空處理，如真空加熱處理，太陽能電池板制程等 配備全自動(dòng)進(jìn)樣端口，可不中斷或不干預(yù)式監(jiān)測整個(gè)過程 可以直接與真空腔室耦合連接 英國 ESS 產(chǎn)品 ESS 公司是世界yi流的高質(zhì)量質(zhì)譜系統(tǒng)制造商，開發(fā)了一系列氣體分析應(yīng)用，和制造了氣體 分析的 ms 監(jiān)測系統(tǒng)。 ESS 產(chǎn)品型號(hào)眾多，分別針對各種應(yīng)用。我們提供適合各種應(yīng)用的不同進(jìn)樣系統(tǒng)以及特定型 號(hào)，一直在持續(xù)開發(fā)新品以滿足新的應(yīng)用，敬請關(guān)注。
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